干式旋片真空泵

在圓柱體的泵腔(1)內，轉子(2)是偏心安裝的，緊靠頂部幾乎與缸體接觸，轉子葉片(4)安裝在眾多的轉子槽(3)中。當轉子開始轉動，由于離心力的作用葉片拋出后沿缸體內部滑動。這樣，兩個葉片之間形成一個氣室，其體積隨著轉動不斷改變。當后面的葉片到達進氣口(7)時，氣體從進氣口進入氣室，在這時，氣室(5)達到其最大的容積。當氣室移動，其容積越來越小，氣體被壓縮，壓強增加，直到氣室(8)內的氣體壓強超過壓力腔(9)內的壓強時，氣體從出氣口(10)排出。有些型號安裝了單向閥用于防止達到極限壓強時排出的氣體回流。
作為真空泵運行時，其過程相同，但氣室(8)提供的是負壓，腔體(9)內為大氣壓。在真空壓力復合泵中，進氣口(6)底端往上移，這可以為氣室提供二次進氣(11)。為避免破壞真空，這個第二進氣口離主進氣口一個氣室的距離，真空和壓力的比率可受兩個進氣口(6)和(11)位置的影響。